Deutsche Hidden Champions sichern sich Positionen in der Halbleiter-Lieferkette: Die industrielle Logik der EUV-Kerntechnologie

Deutsche Hidden Champions sichern sich ihre Position in der Halbleiter-Lieferkette: Die industrielle Logik der EUV-Kerntechnologie

Der Wettbewerb bei fortgeschrittenen Fertigungsprozessen wird oft auf einen Investitionswettlauf der Waferfabriken reduziert. Doch während Samsung, TSMC und Intel in Fabriken, die jeweils rund zehn Milliarden Dollar kosten, um die Ausbeute kämpfen, liegt ein deutlich subtilerer Engpass in einigen ruhigen Kleinstädten im Südwesten Deutschlands. Hier befindet sich das Nadelöhr des EUV-Lithografiesystems.

Mitte Juli öffneten TRUMPF, ZEISS und Merck ihre Halbleiter-Reinräume und Forschungseinrichtungen für asiatische Medien. Diese Schritte wirken wie Routine, zeigen aber unmissverständlich: Jeder einzelne der fortschrittlichsten Chips weltweit ist auf Schlüsselkomponenten deutscher Unternehmen angewiesen. Das Lasermodul von TRUMPF trifft in den EUV-Anlagen von ASML mit 30 kW Leistung auf Zinntröpfchen und erzeugt ultraviolettes Licht mit extrem kurzer Wellenlänge; das Spiegelsystem von ZEISS stellt sicher, dass dieses Licht mit atomarer Präzision fokussiert wird; die Spezialgase und Chemikalien von Merck durchziehen jeden Schritt der Beschichtung, des Ätzens und der Reinigung. Die Technologien der drei Unternehmen greifen nahtlos ineinander und bilden eine fast unüberwindbare Barriere in der Lieferkette.

Warum Deutschland diese Barriere in der Hand hält

Auf einer längeren Zeitachse betrachtet, wird deutlich, dass diese drei Unternehmen keine „geborenen“ Halbleiterakteure sind. Merck hat seine Wurzeln in der Apotheke und Chemie des 17. Jahrhunderts, ZEISS begann mit Mikroskopen, und TRUMPF ist vor allem für den Werkzeugmaschinenbau bekannt. Der technologische Weg, dem sie gemeinsam folgen, besteht darin, die in der traditionellen Industrie herausgebildete Präzisionsfähigkeit auf das völlig neue Anwendungsfeld der Halbleiter zu übertragen. Als ASML ein Lasersystem benötigte, das extrem ultraviolettes Licht erzeugt, konnte TRUMPF seine in der Metallbearbeitung gesammelten Hochleistungslaserkenntnisse direkt übertragen; als das optische System extrem ebene Spiegel erforderte, kam das jahrhundertealte optische Erbe von ZEISS zum Tragen. Diese Fähigkeit zur „bereichsübergreifenden Übertragung“ ist der eigentliche verborgene Aktivposten des deutschen Fertigungssystems.

Eine weitere Stütze der Hidden Champions ist das deutsche duale Ausbildungssystem. TRUMPF bildet am Hauptsitz jedes Jahr rund 150 Auszubildende für Mechanik und Elektronik aus, ZEISS bildet kontinuierlich Fachkräfte für Präzisionsoptik aus, und Merck betreibt gemeinsame Forschungsprojekte mit der Technischen Universität Darmstadt. Durch die tiefe Integration in die Fachkräfteausbildung sichern die Unternehmen die Weitergabe ihres technischen Know-hows über Generationen hinweg. Das erklärt, warum diese deutschen Unternehmen trotz überschaubarer Größe in extrem spezialisierten Nischen eine globale Monopolstellung behaupten können.

Was das für das deutsche Industriesystem bedeutetDeutschland durchlebt die Wehen der Transformation der Automobilindustrie, aber das Geschäft mit Halbleitermaterialien und -ausrüstung scheint sich als unerwarteter Stabilisator zu erweisen. Die öffentlich bekannt gegebenen Expansionspläne von drei Unternehmen – ZEISS erhält 222 Millionen Euro von der EU für den Ausbau der Produktionslinien für optische Systeme, Merck schließt eine seit 2021 laufende Investition von 3 Milliarden Euro ab – zeigen, dass dieser Sektor in einen Zyklus der konjunkturellen Expansion eingetreten ist. Für den Standort Deutschland hat dies eine doppelte Bedeutung: Einerseits bietet es einen neuen Exportwachstumsmotor und eine Gewinnquelle, andererseits verstärkt es die Abhängigkeit der deutschen Industrie von asiatischen Fertigungsstandorten. Etwa 80 % der Halbleiterfertigung sind in Asien konzentriert, während deutsche Unternehmen auf der vorgelagerten Stufe tätig sind. Diese Diskrepanz setzt die deutsche Wirtschaft indirekten Risiken aus, wenn die geopolitischen Spannungen in Asien zunehmen.

Im Rahmen des EU-Chipgesetzes gewährt die deutsche Regierung dem Joint-Venture-Waferwerk von TSMC, Bosch, Infineon und NXP in Dresden 5 Milliarden Euro an Subventionen, mit dem Ziel, einen Teil der Fertigung wieder ins Inland zu holen. Aber eine tiefere strategische Frage ist: Die eigentliche industrielle Lebensader Deutschlands liegt nicht in den subventionsabhängigen Waferfabriken, sondern in den vorgelagerten Knotenpunkten, an denen Merck, Zeiss und Trumpf angesiedelt sind. Wenn Deutschland nach der alten Logik der „Fertigungskapazität“ vorgeht, droht es in einen Hochkostenwettbewerb mit Ostasien und den USA zu geraten. Wenn Deutschland stattdessen seine Positionierung als „Zulieferzentrum für Schlüsselausrüstung und -materialien“ stärkt, kann es in der Neuordnung der globalen Lieferketten dauerhaftere Verhandlungsmacht gewinnen.

Variablen der europäischen und globalen Wettbewerbslandschaft

Die Positionierung deutscher Hidden Champions hat faktisch die potenzielle Erzählung der europäischen Halbleiterstrategie verändert. Europa verfügt über keine erstklassige Wafergießerei, besitzt aber den für die Herstellung fortschrittlicher Chips unverzichtbaren „Schlüssel“. Angetrieben durch KI soll der weltweite Halbleitermarkt in diesem Jahr die Marke von einer Billion US-Dollar überschreiten und sich bis 2030 verdoppeln. Dies bietet Europa einen Weg, ohne massenhafte Fertigung vom Chip-Boom zu profitieren.

Gleichzeitig formt die Geopolitik die Halbleiter-Lieferketten neu. Die US-Exportkontrollen gegenüber China und die Subventionsprogramme zahlreicher Länder haben dazu geführt, dass der weltweite Bauboom von Waferfabriken sich auf die USA und Asien konzentriert. Deutsche Unternehmen müssen gleichzeitig mehrere regionale Märkte bedienen und sich an unterschiedliche Exportvorschriften anpassen. Frank Röhmer, CEO von Zeiss SMT, hat deutlich gemacht, dass die Werkserweiterungen weltweit ihre Auftragsquelle sind. Aber das macht „technologische Neutralität“ zunehmend schwieriger: Sobald Schlüsseltechnologien politisiert werden, könnten deutsche Unternehmen gezwungen sein, zwischen dem größten Markt und dem Sicherheitsbündnis zu wählen.

Richtung für die nächsten drei bis zehn Jahre

Die Engpassposition der deutschen Halbleiter-Lieferkette wird kurzfristig nicht erschüttert. Strenge Kundenqualifizierungen, jahrzehntelange Prozesserfahrung und organisatorisches Wissen sorgen dafür, dass ein Wechsel der Lieferanten äußerst lange dauert. In den nächsten fünf Jahren wird die Nachfrage nach deutschen Anlagen und Materialien nur zunehmen, wenn die Werke von Intel, TSMC und Samsung in Arizona, Dresden und im japanischen Kumamoto nacheinander in Produktion gehen.Aber langfristigere Veränderungen könnten auf der Ebene der Technologierouten stattfinden. High-NA-EUV, die nächste Generation der Lithografietechnologie sowie neuartige Verbindungsmaterialien werden auf die Probe stellen, ob deutsche Unternehmen ihre technologische Führungsrolle fortsetzen können. Gleichzeitig erhöhen China, Südkorea und Japan ihre Investitionen in die unabhängige Entwicklung von Halbleiterausrüstung und -materialien und versuchen, die Barrieren der „versteckten Champions“ zu durchbrechen. Deutsche Unternehmen müssen weiterhin mit hohen F&E-Ausgaben einen technologischen Vorsprung aufrechterhalten und wachsam gegenüber der Wissensdiffusion durch Personalfreisetzung sein.

Ein noch bedeutenderer Trend ist, dass die deutsche Industrie möglicherweise die „Unersetzbarkeit“ zum Kernziel ihrer nationalen Fertigungsstrategie macht. Anstatt um Anteile bei ausgereiften Fertigungsprozessen zu kämpfen, sollte sie an jedem entscheidenden Knotenpunkt „unverzichtbar“ sein. Genau das ist die Fortsetzung der traditionellen deutschen Industriephilosophie im digitalen Zeitalter: nicht die große Erzählung von Größe anzustreben, sondern eine Position, die nicht umgangen werden kann.

Während die Welt darüber debattiert, wer den Chipkrieg gewinnen wird, geben die deutschen versteckten Champions eine andere Antwort – wer die entscheidenden Knotenpunkte kontrolliert, bestimmt das Tempo der gesamten Kette. Für die deutsche Industrie hängt die Wettbewerbsfähigkeit der nächsten zehn Jahre vielleicht nicht davon ab, wie viele Chips sie herstellen kann, sondern davon, ob sie weiterhin sicherstellen kann, dass jeder fortschrittliche Chip die deutschen Technologieknotenpunkte durchlaufen muss.